2月27日消息,據(jù)路透社報道,全球最大的光刻機(jī)巨頭ASML正在緊急尋找其他氖氣供應(yīng)來源。 ASML一位發(fā)言人表示,這是因為烏克蘭是全球最大的氖氣生產(chǎn)國。
烏克蘭生產(chǎn)的氖氣對光刻機(jī)的品質(zhì)有影響,因為氖氣是光刻氣中主要成分,在半導(dǎo)體制程當(dāng)中,氖氣可用于KrF、ArF鐳射曝光,在ArF準(zhǔn)分子激光器中使用的氬/氟/氖氣體中,氖氣占激光氣體混合物的96%以上。電子氣體成本占IC材料總成本的5%-6%,占比并不大,但是很大程度上決定了半導(dǎo)體器件性能的好壞。氖、氙、氪是半導(dǎo)體制造業(yè)不可缺少的工藝氣體,供應(yīng)鏈的穩(wěn)定性極其重要。
烏克蘭擁有ICeblick、Ingas和Cryoin等企業(yè),占全球氖氣供應(yīng)量的70%以上。同時,烏克蘭還主要生產(chǎn)氪氣和氙氣,它是半導(dǎo)體行業(yè)曝光和蝕刻工藝的關(guān)鍵材料,供應(yīng)了全球氪氣的40%以及氙氣的30%。
烏克蘭還不僅是氖氣的主要供應(yīng)商,還是氪氣、氙氣等惰性氣體的供應(yīng)商,這幾種氣體都是芯片制造的關(guān)鍵材料,根據(jù)美國市場調(diào)查公司Techcet 2月初發(fā)布的最新數(shù)據(jù),烏克蘭供應(yīng)全球氖氣、氪氣、氙氣等的需求占比分別達(dá)到了70%、40%和30%。
所以俄烏交戰(zhàn)之后,芯片業(yè)炒作又開始嚴(yán)重了,理由就是氖氣要稀缺了。
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